層流床(層流罩)具有特點:

第一:靈活性。因為層流床(層流罩)是自帶動力的,它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里,可根據需要,分區控制。而且,隨著半導體生產工藝的變化,廠房布局必然要作相應調整,層流床(層流罩)的靈活性使得這樣的調整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
第二:可再利用性。從理論上講,一時不用的層流床(層流罩)設備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:負壓通風。這是層流床(層流罩)的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里,使得密封變得很簡單而且安全。

第四:縮短建設周期。使用層流床(層流罩)省掉了風管的制作和安裝,因為風管在潔凈工程中,占掉很大的建設周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用層流床(層流罩)成為了一種可能。
第五:減少運行成本。雖然在選用層流床(層流罩)時,初期投資要比使用風管通風高,但它在后期運行中,突出的表現出節能、免維護等特點。用在循環減少40%的運行成本。

 

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